薄膜电阻应变式压力传感器的研发与发展趋势

薄膜电阻应变式压力传感器的研发与发展趋势

应变片式压力传感器(工作原理)是基于电阻应变效应原理工作的。应变片式压力传感器是电阻式压力传感器的一种，其通过粘结在弹性元件上的应变片的阻值变化来测量压力值的。用于力、扭矩。、张力、位移、转角、速度、加速度和振幅等测量。

电阻应变式压力传感器所运用的基本原理是电阻的应变效应：导体受机械变形时，其电阻值发生变化，称为“应变效应”

基于应变片式压力传感器工作原理采用镀膜、光刻技术，以石英、Al2O3陶瓷为基底，蒸镀金属薄膜并将其制成电阻应变式压力传感器敏感栅。在0～0.6MPa压力范围内进行相关性能测试。

结果表明：所得传感器均能在此负载范围内正常工作，薄膜电阻应变式压力传感器与传统压力传感器相比，具有应力应变线性度好、重复性好、回差小、蠕变小等优点。另外，由于它们还具有耐高温、耐腐蚀的特点而在工业、生产领域有相当高的实用价值。

人类迈入21世纪，信息处理技术、微处理器和计算机技术的快速发展和*应用，都需要在传感器的开发方面有相应的进展。随着现代科学技术的进步，非电物理量的测试与控制技术，已越来越*地应用于航天、航空、常规武器、船舶、交通运输、冶金、机械制造、化工、轻工、生物医学工程、自动检测与计量、称重等技术领域，而且也正在逐步引入人们的日常生活中。可以说测试技术与自动控制技术水平的高低，是衡量一个*科学技术现代化程度的重要标志。传感器是信息采集系统的感应单元，所以，它是自动化系统和控制设备的关键部件，作为系统中的一个结构组成，在科技、生产自动化领域中的作用越来越重要。

传感器亦称换能器，是将各种非电量（包括物理量，化学量，生物学量等）按一定的规律转换成便于处理和传输的另外一种物理量（一般为电量、磁量等）的装置，它能把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。传感器一般由敏感元件、传感元件和测量电路3部分组成，有时还需加上辅助电源。

国际电工委员会IEC（International electrotechnical committee）则将传感器定义为测量系统中的一种前置部件，它将输入变量转换成可供测量的信号。传感器是传感器系统的一个组成部分，是被测量信号输入的*道关口。对传感器在技术方面有一定的要求，比如：高灵敏度、高稳定性 、线性度好、迟滞小、可重复、低成本、小尺寸、重量轻和强度高等等，而同时亦要考虑尽可能低的零点漂移、温度漂移及蠕变等。近年来，传感器有向小型化、集成化、智能化、系列化 、标准化方向发展的趋势。